高純氣體管道工程

氧氣、氮氣、氬氣、氫氣、乙炔、丙烷等工業氣

2018-11-06 admin

氧氣、氮氣、氬氣、氫氣、乙炔、丙烷等工業氣體壓力管道安裝、設計。

一、預制工作(在簡易潔凈室)在現場的焊接工作降至最低量是必需的。配管區必須在有潔凈氣的地方,在工作時維持風扇正常運轉,于早、中、晚用O2檢視器檢查O2的濃度。1、 點焊點焊使用TIG焊接,點焊的點數按照下列規定。CAJON的焊機必需保證管子確實牢固,從完成的觀點來看,最好不要使用手動的TIG焊接,因此點焊被省略;

2、沖吹氣體(Back seal gas)使用氬氣,露點-80℃或更低,氧含量在0.1ppm以下,微粒(0.1um以上)含量為零。

3、沖吹用管套連接沖吹氣體管路與架設管路

4、預制程序將工作管路兩端套上管套,連接沖吹氣體及閥氬氣沖吹(預先沖吹1分鐘以上)點焊,氬氣沖吹,焊接(自動焊接),氬氣沖吹風(收尾沖吹1分鐘以上)

5、裝封完成焊接之后,在管內充滿Ar氣,而且用潔凈的塑料紙在末端包裹兩層。如果末端的閥已經連接好了,把閥也用塑料紙裹起來。

二、現場工作規定1、攜入材料必須置于特定的貯藏間,在工地現場或在材料間要提供暫時性的簡易潔凈室,所有材料要存放整齊。在存放材料時,有電子拋光的管件必須和未經電子拋光的管件分開。在尚未使用管件之前都不要將塑料封套打開直到現埸要使用時方可打開,并且不要將材料直接放在地上。

2、切管切管時,使用的自動切割機或手動切管器必須是專門為半導體廠工作所設計的。切管器的刀片與管件成垂直方向,當使用自動切割機時,放刀片的深度要能使管壁尚有薄薄的一層未切斷,藉以防止切割時的碎屑進入管內。

3、倒角原則上,在使用倒角機 ( TUBE SIZE用) 或銼刀 ( PIPE SIZE用) 時,小心地移開切割面。如果切割面歪斜未成垂直,焊口松馳或管子彎曲等狀況發生時,這種管路是不合規定,必須重新切割及配置。當倒角時,在管的另一端必須用高潔凈度的氮氣沖吹(氮氣要經0.02um的過濾器過濾)。

4、N2吹掃將管內的微粒沖吹出來。

5、現場焊接現埸焊接的人員必須經過高潔凈度配管技術培訓。即使焊接結束,也要維持小量的N2或Ar在管內沖吹以防止空氣流入管內。無論如何也要想辦法把管內的空氣及微粒趕出來。

6、焊機電源供給電源的電壓的變動,對于管路焊接的品質影響甚巨。使用自動焊接機的電源必需使用特定的整流器。容許的電壓波動AC 100V±10%,AC 200V±10%,在焊接進行時電壓警報器一直監視著電壓,如果電壓超過可容許的范圍時,警報器就會發出聲音。

7、工作后的清潔檢視切割機的潔凈度,保持機具不受油污,如果仍然看得見有油污或切割的碎屑殘余,用GN2沖吹。使用的N2必須經-80℃或更低的露點,經0.02um的過濾器干燥,用肉眼檢查沒有任何的水汽。
 

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